■ 硅、碳化物、陶瓷、玻璃、锗、砷化镓和其他脆性材料的研磨

■ Si/Cu、树脂的研磨

■ GNX200B

■ GNX200BH（可用于SiC材料的研磨）

■ GNX 300B（最大可对应12英寸晶圆）

■ VG401MKII（可用于陶瓷吸盘的研磨）

拥有自己的铸造工厂，作为核心部件的主轴及其他关键零部件全部自供，保证了材料的质量稳定性

■ 拥有百年历史的冈本公司为磨床专业制造商，在其核心部品---主轴上具有独特的技术&实力。

-冈本是世界主要精密磨床核心部品---<主轴>供应商，供应全球知名精密磨床厂家。

-AL2O3,ALN等硬度罗高的材质，对于主轴等核心部件的刚性要求极高。

■ 冈本也是静电卡盘产品专业的设备供应商。

-在超纯AL2O3,ALN等材质，特别是大尺寸超平滑研磨工艺上被广泛使用。

特殊工艺设计的不可替代性

■ 冈本的研磨主轴带角度调节功能。

-可针对高精密大尺寸等特殊工件局部部位有针对性研磨。

-灵活应对<异形-中凸\中凹>等工件。

-研磨精度更高&更稳定&更灵活。 

■ 磨削负荷波动很小。                                                  

■ 配备在线量仪，时时在线监测工件厚度（双探针型）。                                                          

■ 破碎层和外周崩边达到极小。

■ 其他厂商多为<工作台角度调节>

运营成本优势明显

-良品率高。

-主轴等核心部件稳定性高&使用寿命长。

-砂轮磨损量小，使用效率更高：磨料|粒径|结合剂三大核心技术+全球使用业绩。

■ 砂轮主轴采用高刚性空气轴承和大功率研磨主轴，研磨刚性更大。

■ 磨削精度高，稳定性好。

■ 高刚性支撑。

-支撑磨削主轴的机械单元由高刚性铁铸件制成。该机构可承受重型磨削时的机械冲击。

-主轴垂直导轨高刚性直线滚子导轨-接触面积更大、承载负荷大、灵敏度高。

 采用双研磨轴，旋转工作台，机器人上下料，大大提高了生产效率。

工作台采用高刚性空气轴承，通过交流伺服电机驱动和蜗杆变速实现稳定工作。

配备高压喷射装置的研磨例：

■ 硅/铜研磨

■ 树脂研磨

主轴转速：最大1800min-(120Hz)

主轴轴承：空气轴承

主轴快速度进给：180mm/min

主轴磨削速度：最大999um/min

工作台直径：400mmΦ

工作台轴承：空气轴承

真 空 卡 盘：陶瓷卡盘

卡具：真空

工作台转速：1-200min－1

工作台电机：交流伺服电机3.0kW